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北京美泰諾格凈化工程技術(shù)有限公司
主營:實驗室裝修; 無塵車間; 電子無塵車間; 無塵室; 潔凈間; PCR實驗室建設(shè); GMP車間裝修; 萬級無塵車間; 實驗室設(shè)計; 
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天津半導(dǎo)體車間凈化建造廠家

2023年11月29日舉報編輯打印
天津半導(dǎo)體車間凈化建造廠家
價格: 面議
起批量: 1 件起批
區(qū)域: 北京 大興區(qū)
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半導(dǎo)體車間凈化  
聯(lián)系人: 張* 先生
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詳細(xì)介紹

       半導(dǎo)體特性決定其制造過程必須有潔凈度要求,環(huán)境中雜質(zhì)對半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用,所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中對什么都必須嚴(yán)格控制,雜質(zhì)各式各樣,如金屬離子會破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能,灰塵粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等。

 

 

       半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴(yán),除了要求恒溫恒濕外,對生產(chǎn)環(huán)境潔凈度要求很嚴(yán),按單位體積重規(guī)定的塵埃粒子數(shù)標(biāo)準(zhǔn)分成潔凈度的等級。一般分為:10級、100級、1000級、10000級、100000級,國際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1、國標(biāo)GB50073-2013、美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)中均有規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子**濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。

 

       電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化,日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈

 

 

 

該項目的潔凈室在水平方向上采用了港灣式的布置方式。這種布置方式的優(yōu)點是將工藝設(shè)備分為前、后區(qū),前區(qū)為人員操作區(qū)(硅片暴露區(qū)),后區(qū)為工藝設(shè)備接管區(qū),前后區(qū)潔凈度區(qū)分明顯,**影響產(chǎn)品質(zhì)量的是前區(qū)。將前后區(qū)區(qū)分開后,潔凈度要求高的區(qū)域的面積也會減少,以減少整個系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)量,降低能耗及工程造價。根據(jù)ISO標(biāo)準(zhǔn),該潔凈室生產(chǎn)前區(qū)的潔凈度等級為2.5級和3.5級,溫度要求為±221℃,相對濕度要求為45%±5%;該潔凈室生產(chǎn)后區(qū)的潔凈度等級為6級和7級,溫度要求為±223℃,相對濕度要求為30%-60%。

該項目的潔凈室在垂直方向采用三層結(jié)構(gòu)的布置方式(如圖),這也是大規(guī)模集成電路廠房常用的形式,即上層為潔凈室的送風(fēng)靜壓層,中間為潔凈生產(chǎn)區(qū),下層為回風(fēng)層及支持區(qū)。

在工程上,人們利用室內(nèi)空氣的循環(huán)來保持生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)的潔凈等級。空氣在嚴(yán)格控制溫度、濕度的前提下,經(jīng)過過濾器之后進(jìn)入潔凈室內(nèi),而室內(nèi)的空氣則經(jīng)回風(fēng)系統(tǒng)“離開”潔凈室,再經(jīng)過濾器之后重新進(jìn)入潔凈室。與此同時,由于潔凈室內(nèi)必然會有風(fēng)量損失,因此也需要補(bǔ)充一部分室外新風(fēng)。

在本項目中,潔凈室系統(tǒng)采用新風(fēng)集中處理機(jī)組(MAU)+風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)+干式冷盤管(DDC)的方式,其空氣處理過程為:循環(huán)風(fēng)經(jīng)設(shè)置在一層的干式冷卻盤管冷卻后,進(jìn)入上部送風(fēng)靜壓箱,與處理后的新風(fēng)混合,經(jīng)FFU加壓、過濾后送入生產(chǎn)區(qū)。

其中,MAU的主要作用是提供潔凈室需求的新風(fēng),控制潔凈室的濕度,同時通過變頻調(diào)節(jié)來維持潔凈室的正壓環(huán)境;DDC主要承擔(dān)潔凈室的顯熱負(fù)荷;而FFU則過濾循環(huán)空氣來滿足潔凈室的潔凈度。這種方式與傳統(tǒng)的循環(huán)送風(fēng)方式相比有明顯的優(yōu)勢,F(xiàn)FU具有靈活性,可適應(yīng)工藝變化,當(dāng)工藝發(fā)展需要提高空氣潔凈度級別時,采取增加FFU數(shù)量或更換更高效率的過濾器就可達(dá)到提高潔凈度等級的目的。FFU采用負(fù)壓密封使其簡化而可靠,也就是說,潔凈區(qū)內(nèi)的空氣壓力大于送風(fēng)靜壓箱內(nèi)的空氣壓力,這就極大地降低了塵埃微粒通過縫隙進(jìn)入潔凈室的幾率。此外,采取這種方式也可大大節(jié)省空調(diào)機(jī)房的面積。

由于集成電路芯片制造工藝的特殊性,在芯片生產(chǎn)的過程中,會產(chǎn)生各種廢氣,其中,酸堿廢氣來源于硅片清洗、爐管清洗、濕法刻蝕;工藝尾氣來自離子注入、干法刻蝕、CVD、擴(kuò)散、外延;有機(jī)廢氣來自光刻、去膠、顯影等工序。在工程設(shè)計中,應(yīng)針對排放氣體的不同性質(zhì)分別處理。

為補(bǔ)償工藝排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓以及滿足工作人員的新風(fēng)需要,潔凈區(qū)需送入一定量的新風(fēng),新風(fēng)機(jī)組MAU采用變頻風(fēng)機(jī),通過室內(nèi)正壓值控制風(fēng)機(jī)的變頻器,調(diào)節(jié)新風(fēng)風(fēng)量。新風(fēng)管道的布置,盡可能地將新風(fēng)均勻送入潔凈室,并且在工藝設(shè)備發(fā)熱較大的地方提供更多的新風(fēng),以減輕干式冷盤管的負(fù)擔(dān)。

潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計是一個復(fù)雜的過程,以上的描述僅僅是對整個系統(tǒng)作一個簡單的概述,而實際上還需要大量的計算來**以上實施的有效性,除了圍護(hù)結(jié)構(gòu)、人員、照明的負(fù)荷計算外,還需要進(jìn)行復(fù)雜的工藝設(shè)備冷熱負(fù)荷計算、風(fēng)量平衡計算以及大量的水力平衡計算來確保整個系統(tǒng)的均勻、平衡、合理。集成電路廠房的潔凈室能源消耗大,投資大,如何在滿足工藝需求的前提下,采用更合理的方案、更**的技術(shù)來實現(xiàn)節(jié)約能源、減少工程造價,是我們今后設(shè)計中所面臨的方向,也符合國家節(jié)能減排的政策要求。

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