臭氧發生器主要由兩個部分組成：一部分是一個包含有放電體的容器，通常被稱為臭氧放電室；另一部分是一套為臭氧放電室提供高壓電源的電源系統，通常被稱為臭氧電源或供電單元（PSU）。

構成臭氧發生器的基本部分的定義如下：

※ 臭氧發生單元 ozone generation unit

組成產生臭氧的**基本元件。

※ 臭氧發生裝置 ozone generation device

安裝臭氧發生單元的裝置，俗稱“臭氧放電室”。

※ 臭氧電源裝置 power supply unit

將輸入電源轉化為中頻高壓電源或高頻高壓電源的裝置，也稱為“供電單元”，使臭氧發生裝置內形成高壓電場。

※ 臭氧發生器 ozone generator

產生臭氧所必需的全部裝置，包括臭氧發生裝置和臭氧電源裝置兩大部分。

※ 電極 electrode

與具有不同電導率的媒質形成導電交接面的導電部分；在臭氧發生單元中系指分布高壓電場的導電體。

※ 介質管（板） dielectric tube (plate)

其由基本電磁場性能是受電場作用而極化的物質所構成的零、部件；在臭氧發生單元中系指位于兩電極間，造成穩定的輝光放電的絕緣體。

※ 介質強度 dielectric strength

材料能承受而不致遭到破壞的**電場強度。

※ 電暈放電 corona discharge

氣體擊穿后，出現極間電壓減小的現象，并同時在電極周圍出現昏暗輝光，稱為電暈放電。

※ 輝光放電 glow discharge

當電場強度超過某值時，以發光表現出來的氣體中電傳導現象，此時輝光擴展到兩電極之間的整個放電空間，沒有大的嘶聲或噪聲，也沒有顯著的發熱或電極的蒸發。