低溫蒸汽甲醛滅菌器采用包含2%甲醛、3%酒精和95%蒸餾水的溶液作為滅菌劑。在低溫負壓下甲醛和水蒸汽的混合氣體穿透到物品內部，甲醛分子直接作用于細菌的蛋白質分子上的氨基（NH2），硫氫基（SH），羧基（COOH），烴基（OH），生成次甲基衍生物，從而破壞細菌的蛋白質（尤其是酶 ），導致微生物的死亡。所以廣泛應用于**、衛生等部門，用于對**高分子材料、**電子儀器、光學儀器、衛生材料、**等畏熱畏濕物品進行滅菌處理。