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三氯化鐵對銅的蝕刻原理
在實際生產中,表示蝕刻液的活度不是用Fe3+的消耗量來度量,而是用蝕刻液中的含銅量(g/l)來度量。因為在蝕刻銅的過程中,開始蝕刻時間是相對恒定的。然而,隨著Fe3+的消耗,溶液中含銅量不斷增長。當溶銅量達到60g/l時,蝕刻時間就會延長,當蝕刻液中的Fe3+消耗40%時,溶銅量達到82.40g/1時,蝕刻時間便急劇上升,表明此時的蝕刻液不能再繼續使用,應考慮蝕刻液的再生或更新。
一般工廠很少分析和測定蝕刻液中的含銅量,多以蝕刻時間和蝕刻質量來確定蝕刻液的再生與更新。經驗數據為,采用動態蝕刻,溫度為500C左右,銅箔厚度為50μm,蝕刻時間5分鐘左右很好,8分鐘左右仍可使用,若超過10分鐘,側蝕嚴重,蝕刻質量變差,應考慮蝕刻液的再生或更新。