有機廢氣在風機作用下，*先經特殊結構的陶瓷蓄熱體，氣體溫度逐漸升高至250～300℃左右進入催化劑床層。在此溫度下，廢氣里的有機物在催化劑的作 用下被氧化成二氧化碳和水，凈化后的高溫氣體進入蓄熱陶瓷體，絕大部分的熱量被蓄熱體吸收（95%以上），溫度降至接近進口的溫度后經煙筒排放。

一般情況RCO設備由三個蓄熱室構成，廢氣在PLC程序的控制下，循環執行以下的操作流程：進入已蓄熱的蓄熱室，使廢氣得到預熱；然后進入氧化室，有機物被凈化； 凈化后的高溫氣體由未蓄熱的蓄熱室吸熱后排放，一部分處理后的氣體被引回到第三室，吹掃其中殘留的未處理廢氣；在污染物去除效率要求不高的情況下，為節省資金，也可設計成兩室結構；

在化學反應過程中，利用催化劑降低燃燒溫度，加速有毒有害氣體氧化的方法，叫做催化燃燒法。由于催化劑的載體是由多孔材料制作的，具有較大的比表面積和合適的孔徑，當加熱到300~450℃的有機氣體通過催化層時，氧和有機氣體被吸附在多孔材料表層的催化劑上，增加了氧和有機氣體接觸碰撞的機會，提高了活性，使有機氣體與氧產生劇烈的化學反應而生成CO2和H2O，同時產生熱量，從而使得有機氣體變成無毒無害氣體。催化燃燒裝置主要由熱交換器、燃燒室、催化反應器、熱回收系統和凈化煙氣的排放煙囪等部分組成。