活性炭光氧一體機速率較為合理百分之九十光氧設備的大體過程為惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用有效UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，活性炭光氧一體機使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。活性炭光氧一體機從原理上分析，光氧催化廢氣處理技術利用有效高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，光氧活性炭一體機因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊（活性氧）O+O2→O3（臭氧），光氧活性炭一體機眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清理效果。同時，利用有效UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，光氧活性炭一體機破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，全部達到脫臭及殺滅細菌的目的。