由于壓縮空氣對三坐標測量儀的正常工作起著非常重要的作用，所以對氣源的維修和保養非常重要。其中有以下主要項目:

　　1、每天使用三坐標測量儀前檢查管道和過濾器，放出過濾器內及空壓機或儲氣罐的水和油。

　　2、一般3個月要清洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯。空氣質量較差的周期要縮短。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞，時間稍長就會使測量機實際工作氣壓降低，影響三坐標測量儀正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。

　　導軌保護

　　該儀器的導軌是測量機的基準，只有保養好氣浮塊和導軌才能保證測量機的正常工作。

　　三坐標測量儀導軌的保養除了要經常用酒精和脫脂棉擦拭外，還要注意不要直接在導軌上放置零件和工具。尤其是花崗石導軌，因其質地比較脆，任何小的磕碰會造成碰傷，如果未及時發現，碎渣就會傷害氣浮塊和導軌。要養成良好的工作習慣，用布或膠皮墊在下面，保證導軌安全。

　　工作結束后或上零件結束后要擦拭導軌。每天都要擦拭導軌油污和灰塵，保持氣浮導軌的正常工作狀態。

　　注意事項

　　正確使用三坐標測量儀對其使用壽命、精度起到關鍵作用，應注意以下幾個問題:

　　1、工件吊裝前，要將探針退回坐標原點，為吊裝位置預留較大的空間;工件吊裝要平穩，不可撞擊儀器的任何構件。

　　2、正確安裝零件，安裝前確保符合零件與測量機的等溫要求。

　　3、 建立正確的坐標系，保證所建的坐標系符合圖紙的要求，才能確保所測數據準確。

　　4、當編好程序自動運行時，要防止探針與工件的干涉，故需注意要增加拐點。

　　5、對于一些大型較重的模具、檢具，測量結束后應及時吊下工作臺，以避免工作臺長時間處于承載狀態。